□本報(bào)記者張雙雙本報(bào)通訊員李曉琳

“創(chuàng)新是個(gè)求變的過(guò)程，但過(guò)程中，如果沒(méi)有百折不撓的韌勁兒，是不會(huì)成功的?！?025年德州市“七一”榜樣專(zhuān)題黨課上，山東有研半導(dǎo)體材料有限公司硅片制造部副部長(zhǎng)鄭宇有感于自己成長(zhǎng)的心路歷程?！罢沁@種對(duì)創(chuàng)新的極致追求，在3年時(shí)間里我們將產(chǎn)品良品率從80%提升至95%，用‘毫厘之功’在國(guó)際市場(chǎng)上打開(kāi)局面，產(chǎn)品市場(chǎng)占有份額提高了5個(gè)百分點(diǎn)?！彼f(shuō)。

出生于1991年的鄭宇，畢業(yè)于燕山大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院，2013年10月加入中國(guó)共產(chǎn)黨，在山東有研半導(dǎo)體材料有限公司從事集成電路用6英寸、8英寸半導(dǎo)體硅片的科研生產(chǎn)工作。

他自稱(chēng)是一個(gè)扎根德州的“新德州人”。有研集團(tuán)在德州建設(shè)集成電路用大尺寸硅材料生產(chǎn)項(xiàng)目，自生產(chǎn)基地建成后，以鄭宇為代表的硅片制造團(tuán)隊(duì)便來(lái)到德州，從設(shè)備安裝調(diào)試到產(chǎn)品通線(xiàn)量產(chǎn)，一切都是從頭開(kāi)始。

安裝不易、調(diào)試更難。自設(shè)備安裝完之后，鄭宇便和十幾名工程師以廠為家，工作臺(tái)上堆滿(mǎn)了各類(lèi)調(diào)試數(shù)據(jù)和參數(shù)文檔。經(jīng)過(guò)兩個(gè)月晝夜奮戰(zhàn)，他們成功搭建起一條包含切片、倒角、研磨腐蝕、拋光、清洗檢測(cè)等30道完整工序的現(xiàn)代化生產(chǎn)線(xiàn)。每道工序精度均控制在1微米以?xún)?nèi)，相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的八十分之一。

2020年10月，8英寸集成電路用硅片項(xiàng)目通線(xiàn)量產(chǎn)。鄭宇回憶說(shuō)：“當(dāng)閃著金屬光澤的硅片在清洗槽中出來(lái)的時(shí)候，車(chē)間里爆發(fā)出陣陣歡呼聲，經(jīng)過(guò)大家的不懈努力，我們最終把產(chǎn)品量產(chǎn)時(shí)間提前了整整半年?！边@也是德州市重點(diǎn)項(xiàng)目建設(shè)的新突破，填補(bǔ)了德州半導(dǎo)體硅材料制造空白。

接下來(lái)的3年時(shí)間，鄭宇和研發(fā)團(tuán)隊(duì)不斷試驗(yàn)、改進(jìn)，經(jīng)過(guò)148次參數(shù)校準(zhǔn)，完成了23項(xiàng)自主設(shè)計(jì)，最終成功研制出首臺(tái)國(guó)產(chǎn)硅片清洗機(jī)。

他們形象地將這臺(tái)設(shè)備稱(chēng)為“爭(zhēng)氣機(jī)”，企業(yè)自此用上了自主生產(chǎn)的設(shè)備，讓硅片生產(chǎn)成本降了一半。

目前，公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)已將硅片的良品率從80%提升至95%，這背后是團(tuán)隊(duì)夜以繼日的辛勤付出。鄭宇說(shuō)，硅片的良品率每提升一個(gè)百分點(diǎn)都非常難，但同時(shí)這一個(gè)百分點(diǎn)的提升又將給企業(yè)帶來(lái)更大的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。“我們團(tuán)隊(duì)梳理了全部的工藝參數(shù)，把每道工序拆解為成百上千的控制要點(diǎn)。我在研磨臺(tái)前連續(xù)值守72小時(shí)，最終把硅片平整度從3微米壓到0.8微米?！?/p>

鄭宇說(shuō)，在當(dāng)前產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)持續(xù)加劇的背景下，他們將緊盯行業(yè)前沿，加快研發(fā)創(chuàng)新，持續(xù)為德州半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展作出貢獻(xiàn)。